薛春娥

（长江职业学院工学院，湖北 武汉 430073）

自20世纪80年代末以来，世界上许多工业发达国家，如美国、日本及欧共体各国都已将微电子机械系统作为一种重要发展学科之一，并投入大量资金进行相关研究，这极大地推动了微细加工技术的发展，先后出现了超精密机械加工、深反应离子蚀刻、LIGA（即德文光刻/Lithographie，电铸/Galvanoformung和注塑/Abformung三个词的缩写）及准LIGA技术等技术。然而，这些方法具有成本高、周期长、效率低、有污染等缺点，制约了它们在微细加工领域的广泛应用。相比之下，微塑性成形技术不仅具有低成本、高效率等特点，而且具有高强度、高精度、表面质量好等优势，因此被认为是微细零部件批量生产的理想方法。近年来，一些科研工作者开始尝试将微塑性成形技术应用于微细金属零部件的批量制造，先后出现了微冲裁、微弯曲、微拉伸、微挤压、微印花及微纳复制成形等微塑性成形技术。本文重点介绍了近年来国内外学者在微塑性成形工艺方面的研究工作，并对微成形技术的未来提出了展望。

1 晶态材料的微塑性成形工艺

（1）微冲裁。冲裁是生产微小零件的主要工艺之一，目前相关的研究主要集中在电子产品方面。1990年，Sekine等人研究了线框零件的微冲裁工艺，随后他们还进一步研究了高速精密冲裁在微机电器件生产中的应用。文献研究了150 μm厚的板料的微冲裁工艺，发现冲裁力与材料的各向异性有关，不同冲裁方向上的冲裁力相差明显。Raulea等人系……