徐丽， 黄云， 周斌

（1.华南理工大学，广东 广州，510640；2.工业和信息化部电子第五研究所，广东 广州，510610）

0 引言

由于GaAs MMIC在通信系统及军用电子系统中的应用，市场对高可靠性微波裸芯片的需求日益迫切。在已知良好芯片（KGD：Know Good Die）技术研究及应用的推动下，对裸芯片可靠性的研究朝着高频、高速信号芯片的方向发展。本文针对MMIC的测试与老炼，研制了一套临时封装测试夹具，用于对特定的微波功率放大器进行KGD实验。

要实现分立微波裸芯片的KGD保证技术，关键是临时封装夹具系统的设计。封装夹具主要对芯片起到机械保护和电气连接的作用。作为微波传输系统的重要组成部分，微波传输线是夹具系统设计中需要重点考虑的环节。本设计针对微波信号传输线，主要考虑了两个问题，首先是根据微波频率来选择合适的传输线，再是保证传输系统的匹配，减小信号传输的不连续，使夹具在测试和老炼时具有良好的信号完整性。选择合适的传输线，相当于选择了合适的传输管道类型，信号才能得到顺畅的流通；合理地考虑传输匹配则是将各管道连接起来，并对连接处进行恰当的处理。

1 传输线的设计与优化

微波传输不同于普通电信号的传输，普通信号的传输线只需要考虑电阻和功率消耗，而对于微波传输，由于频率的上升，传输线的寄生参数如电容电感特性变得很重要，因而引入了分布参数理论。传输线的形式有很多种，其中平面导波系统是为适应微波集成电路而出现的。……