宋文斌 赵恕昆

摘要：器件的模型和模型参数提取是电子设计自动化（EDA）领域的关键工作。目前，模型参数的提取主要通过商业软件来完成，商业软件由于价格昂贵及其内部机理的复杂性限制了它们的应用。本文针对在参数提取过程中，数据量大、数据格式转化繁琐等问题，编写了一个数据格式转化程序。该程序简单易用，且具有较高的精确度，适合推广使用。

关键词：MOS器件；模型参数；参数提取；数据转化

1 引言

器件的模型和模型参数提取是电子设计自动化（EDA）领域的关键工作，对器件物理和集成电路工艺的研究也有十分重要的作用，因此在学术界和工业界受到广泛的重视[1]。

参数提取的任务是要从一组器件测量特性中得到与器件模型相对应的一套器件模型参数值。其办法是先给出一组模型参数初始值，代入器件模型公式得到一组模拟结果；然后比较Isim（模拟结果）与Imes（测量结果），如两者不一致，就修改参数值，直到Isim与Imes很好地拟合。这种提取方法可归结为计算目标函数的极值。假设模型参数为K个，同样激励下，需要实测N个特性数据Ime（要求K

（1）

其中，Isim是模拟结果），Imes是测量结果，向量代表参数的数目，向量代表电压变量，向量代表器件尺寸。

以目标函数计算极值，进行参数最优化处理，即寻找一组使目标函数达到预期的极小。用优化算法适当修正各参数，缩小，反复计算、比较和修正，直到最终找到极小值为止（即差别降在要求误差限内）。这时的参数取值就是最终待提取的模型参数。……