林 军，吴小海，洪春美，王文营，彭艳霞，朱永艳

（广西明利集团有限公司，广西 南宁 530031）

电子级磷酸属高纯磷酸，它是超净高纯试剂中的一种，其杂质含量极低，为 1×10－6级别，被称为磷化工行业“皇冠上的明珠”［1］。电子级磷酸是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蚀，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。

随着半导体芯片制造业和LCD制造业向中国转移，中国电子级磷酸的用量将随之猛增，同时国外又受磷资源的限制，增产的空间有限，因此中国电子级磷酸市场无疑将具有广阔的发展前景。具有资源和技术优势的企业应率先加强对电子级磷酸生产工艺技术的研究，在提高中国电子级磷酸技术水平的同时，可以适当引进国外先进的工艺和装置，抢占国内外电子级磷酸产品市场，促进中国电子级磷酸工业的发展［2］。

本文从电子级磷酸制备原理、纯化技术、检测方法进行综述，并对其应用前景进行了展望。

1 电子级磷酸制备工艺研究

1.1 高纯磷氧化法

将工业黄磷或红磷提纯制成高纯磷，然后将精制的高纯黄磷或红磷在干净、干燥的空气中燃烧生成气态P2O5，再用超纯水喷淋吸收制取电子级磷酸。其反应原理如下：

高纯磷氧化法工艺简单、操作方便，减少了以工业磷酸为原料的许多化学和物理方法净化过程，解决了浓磷酸黏度大、不易过滤和磷酸不能精馏提纯的难题，产品质量便于控制、稳定性好，易升级。……