兰 羽，卢庆林

（陕西工业职业技术学院 陕西 咸阳 712000）

目前，国内的大多数玻璃生产厂家采用传统的人工测量玻璃厚度，在对于一些高要求玻璃制品测量很难达到高精度，实时监控的目的，而采用激光测量结合光电检测技术，能做到实时检测的非接触型测量法还较少，且大多成本较高。随着光电检测技术的发展，激光外差技术在激光通信、雷达、测距、测速、测振等方面有了广泛的应用[1]。在玻璃厚度测量方面，激光外差测量技术以其具有分辨率高、精度高、线性度好、动态响应快、在线非接触测量的优点[2]，逐渐开始取代传统的测量方法。

1 激光外差玻璃测厚度系统

玻璃厚度的测量系统中应用了激光多普勒效应和激光外差测量技术，测量原理如图1所示。

激光干涉仪发出的变频激光通过半透镜L垂直照射于待测玻璃表面，由于激光在不同时刻的频率不同，所以激光在玻璃前表面反射的光场，与其前一时刻在后表面反射后到达前表面的光场因频率不同而发生混频，产生差频信号，和频信号由半透镜L反射后到达光电转换器，光电管将接收到的光信号转换为电信号，该信号包括激光本振信号、差频信号、和频信号和噪声，其中和频信号与本振信号频率较高，超出光电管的频率响应范围，利用带通滤波器的带宽控制在中频信号范围内，即可检测到差频信号[3－4]。该差频信号含有玻璃板的厚度信息，差频信号的频率为：f=λh，其频率与待测玻璃厚度成正比，比例系数λ与光源频率、玻璃板折射率以及振镜常数有关，当光源频率、玻璃板折射率以及振镜常数确定，λ为常数。……