王海姣，王党社，乔若飞

（西安工业大学 理学院，陕西 西安 710032）

引 言

火棉胶在医学及工业中有广泛的用途，是制造清漆、胶片、人工珍珠、人造革的原料，在医学领域被用于封堵创伤及灼烧的伤口，在组织学中常被用作组织的包埋及切片剂［1］。根据火棉胶的致密性，常被用做样品薄膜的底膜，通过电子衍射分析物质内部结构。由于电子波波长在0.01～0.1nm数量级，因此要求样品物质必须很薄，一般在10nm左右。样品薄膜的厚度对于晶体衍射花样有很大影响，因此精确控制薄膜厚度成为通过电子衍射方法分析材料结构的关键因素［1］，薄膜厚度的精确测量也就显得十分重要。现有薄膜厚度和折射率的测量方法很多，如分光计最小偏向角法［2］、阿贝折射仪临界角法［3］、干涉法［4］、棱镜耦合法［5］、椭偏法［6，7］等。这些方法中有些对被测物有较严格的形状要求，有些测量精度低，有些测量精度虽高但价格昂贵，而且它们很少能同时测量折射率和厚度两个参数；而椭偏法适合于透明的或弱吸收的各向同性的厚度小于一个周期的薄膜，也可用于多层膜的折射率、消光系数、表面孔隙率、晶体的偏振、双折射的测量等，在各种已有的测定薄膜厚度的方法中，椭偏法具有测量薄膜最薄和测量精度高的特点。利用椭偏法测量薄膜光学常数，要根据薄膜结构建立模型，通过LM算法拟合而得到薄膜的光学常数，拟合时必须知道火棉胶的折射率和厚度。到目前为止现有文献只是给出了火棉胶溶液在某一波长的折射率，而对于火棉胶成膜后其厚度及折射率光谱尚未见研究。……