王昕歌/上海市计量测试技术研究院

0 引言

随着机械加工行业的不断发展，表面粗糙度测量技术也取得了长足的进步，它在机械、电子、光学等精密加工行业中的地位也显得越发重要。表面粗糙度是指加工表面上具有较小间距和峰谷所组成的微观几何形状特征，其产生是由于在加工过程中，刀具与制件表面之间的摩擦、切削或压制时产生塑性变形，以及工艺系统中高频振动等因素的作用，使被加工表面产生微观几何变形。表面粗糙度是评定零件表面质量的重要指标，它对零件的摩擦因数、密封性、耐磨性、抗腐蚀性、疲劳强度、接触刚度、配合性质以及导热导电性能等均有影响。所以合理控制表面粗糙度对提高产品性能至关重要。

1 测量方法

目前，常用的表面粗糙度测量方法有比较法、针描法、光切法、光干涉法。此外还有印模法、气动法、电容法、光纤法、光反射法、全息干涉法、激光光斑法、扫描电镜法、光外差干涉法、光触针测量法、计算机视觉检测系统以及各种模式的识别方法。本文只对最常用的四种粗糙度测量方法进行介绍。

1.1 比较法

比较法是现场常用的最简便易行的方法，它是将被测表面与表面粗糙度比较样块进行比较，用肉眼判断或借助于放大镜、比较显微镜放大后进行比较；也可用手摸、指甲划动的感觉来判断被测表面的粗糙度。比较法一般只用于粗糙度参数值较大时的近似评定。一般说来Ra ＞ 2.5 μm的加工表面可直接目测与比较样块进行比较。……