李晓红，范锦彪，王燕

（中北大学 电子测试技术国家重点实验室 山西 太原 030051）

0 引言

高量程微机械压阻式加速度传感器在冲击测试军用引信中运用相当广泛[1]。对于弹体对混凝土和钢筋混凝土侵彻破坏效果的研究，国内外已经做了大量的工作[2-4]。在硬目标动能侵彻过程中，对于弹丸动能侵彻过程的动态参数测试，目前现有的通用测试手段无法满足要求，而较先进手段如高速摄影等又无法在像侵彻这样的恶劣环境下使用，因此目前国内外的侵彻加速度测试技术，仍以弹载存储测试技术为主。弹载记录仪包括传感器与记录存储电路两大部分，利用存储设计装置，可以记录弹丸发射、飞行和着靶侵彻过程中的实时加速度[5]。因此通过弹体侵彻混凝土的模拟实验，验证了传感器的非线性。

1 压阻式加速度传感器非线性分析

压阻传感器是四端网络器件, 双端输入端接一定的激励电压源或电流源,当受到气体或液体的压力作用时,双端信号输出端输出信号电压[7]。由于压阻传感器在制造过程中有一定的离散性, 不可能每只完全一样, 另外在传感器老化时, 也有所变化。由于压阻传感器的扩散电阻的温度系数较大, 在实际工艺中很难将每个桥臂电阻的值做得完全一致, 因此不但存在每只传感器的零位和满度不一样问题,还存在线性问题, 每只传感器都有标称的非线性度。集成惠斯顿电桥压阻传感器, 经过零位和满度调节后,液体或气体的压力与信号输出电正关系如表1所示。……