王 祁，赵树延，宋 凯

(哈尔滨工业大学电气与自动化学院，哈尔滨150001)

传感器是信息获取的源头，目前各种测试设备和自动化系统中使用的传感器数量和种类越来越多。在很多应用场合中，需要同时监测多个物理量，例如在矿井中经常需要同时监测温度、湿度、一氧化碳、甲烷等气体成分;在潜艇等密闭环境中需要同时监测温度、湿度、风速、一氧化碳浓度等。为了使用方便，人们希望能用尽量少的传感器测量多个物理量，这种需求促进了传感器向多功能的方向发展。如芬兰的VAISALA公司推出的多功能天气传感器WXT520能够同时测量六种物理量，包括风速、风向、降水量、压力、温度和相对湿度;2000年美国BELL实验室Dodabalapur和意大利Bari大学的Torsi研制了一种基于有机薄膜晶体管(OTFT)的多功能气体传感器，通过测量有机薄膜晶体管的电导率、晶体管门限电压和有效迁移率来敏感不同气体，实现多参数测量[1]。

多功能传感器可以有多个敏感元件集成在一个基板上，也可由多个传感器复合而成。由于多功能传感器测量的参数多，其结构较普通传感器的结构复杂，因此发生故障的概率也随之增大。传感器一旦发生故障，输出错误数据，就会影响系统工作，甚至造成灾难性后果。因此人们希望了解传感器的工作状况是否正常，对不可靠的传感器及时更换;同时希望当传感器发生故障时，不输出错误数据，以保证系统正常运行。

自确认传感器是牛津大学的Henry和Clarke教授在1993年提出的一种新型传感器，它不仅能输出测量值，同时能够对自身的工作性能、状态进行在线评估[2]。……