AGC氦放电离子化检测器(D ID)气相色谱仪①在特种气体分析中的应用
2011-01-10曾素芳王非非
低温与特气 2011年3期
曾素芳,王非非
(1.爱尔兰AGC仪器公司北京代表处,北京 102628;2.济钢鲍德气体有限公司,山东济南 250101)
·应用技术·
AGC氦放电离子化检测器(D ID)气相色谱仪①在特种气体分析中的应用
曾素芳1,王非非2
(1.爱尔兰AGC仪器公司北京代表处,北京 102628;2.济钢鲍德气体有限公司,山东济南 250101)
随着气体行业的发展,尤其是特气行业的发展对气体分析仪器的要求更高,在这样的条件下,AGC公司氦放电离子化检测器(D ID)气相色谱仪及时解决了分析行业的难题。着重概述在高纯氦气、高纯氪气、高纯氙气、高纯氯化氢气体、砷烷等特气分析中的应用。
特气;气相色谱仪;D ID
气体产品种类很多,根据一般情况下对气体的概况加以比较切合实际的分类,大至可以分为两大类别,一类是一般工业气体,另一类就是特种气体。
一般工业气体主要包括经过空气分离设备制造的普通级的氧气、氮气和经过焦炉气分离或电解等方法制造的普通纯度的其它种类气体。这类气体一般生产量大,但气体纯度不高。特种气体则是在用途、纯度、品种、性能等方面都有别于一般气体的气体。特种气体种类很多,基本上可以分为三类,即高纯气体、标准气体和电子特种气体。随着现代工业的发展和信息时代的来临,特种气体在现代工业和生活中扮演着越来越重要的角色。
1 中国特气市场现状
中国的超纯度特种气体研制始于 1983年,研究的内容为超纯气体和烷类气体。我国对于超纯度特种气体的研究经历了 20多年的努力,开发出了一批特种气体,可以满足中小规模集成电路用气。……
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