黄　超　荣丽梅　谢光忠

0引言

随着声表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)技术的发展，SAW传感器已经成为重要的一个分支。声表面波传感器以其体积小，重量轻，功耗低，以及灵敏度高，抗干扰强，精度高，重复性和一致性良好的特点，可以实现无线传感，便于大批量生产，成本低，目前已经成为了各种高性能传感器的首选。