吴启琴，沈克强，赵俊霞，任丽丽，孙小羊

（三江学院 电子信息工程学院，江苏南京 210012）

随着经济的快速发展，我国集成电路产业也获得了较大发展，已经成为国家的核心产业[1]。目前，很多高校都开设了微电子专业，其中集成电路制造技术作为微电子专业的核心课程，被列入各高校微电子专业的必修课程[2]。大部分院校的集成电路制造技术课程的教学方式还是以传统的理论讲解模式为主，因工艺线上的设备采购费用高，同时做实验也较耗费时间，仅有少数高校配备了实验设备。因此，需对课程进行改革，在课程教学中加入虚拟制造实践环节，进一步巩固学生的理论知识，促使其将理论知识转化为实际操作，提升实践及应用能力，并具备发现及解决实际问题的能力。

1 集成电路制造技术课程改革的意义

三江学院属于应用型本科高校，人才培养目标是能够满足当今社会的发展需求，尤其是能满足应用技术类企业的人才需求，同时培养学生的创新创业精神。这些都离不开实践技能的锻炼和学习，课程教师需要引入企业的真实设计项目进行案例分析，因此，集成电路制造技术课程改革迫在眉睫。

2 课程培养目标

2.1 教学目标定位

集成电路制造技术课程的传统教学方式更侧重于理论教学[3]，在传统教学模式下，三江学院微电子方向的学生在集成电路制造技术课程中主要进行了理论学习，未能深入了解集成电路制造工艺，后期也没有实践课程进行强化练习。……