谷帆，詹永卫，唐昱龙

（中电科思仪科技股份有限公司，山东青岛，266555）

0 引言

随着微波射频技术的快速发展，微电子产品的集成度在不断提高，微波集成电路的测试需求也越来越大。在射频、微波探针应用之前，对未贴装的单片微波集成电路缺乏科学有效的测试方法，测试过程往往会导致电路表面受损，功能完整性无法保障。而在片测试技术的应用能够直接测量芯片器件的电气特性和元件参数，微波探针可以作为微波集成电路在片测试的重要工具。在微波探针研制生产过程中，需要一种测试方法和系统实现探针产品的可靠性验证和测试。

1 虚拟仪器技术

2 系统设计与实现

■2.1 系统设计原理

该测试系统设计包含硬件和软件两部分，其中系统硬件部分主要包括工控计算机、矢量网络分析仪、自动插拔力测试机改装的运动平台、GPIB 控制卡、光学显微镜等，软件部分以LabVIEW 开发平台为基础，GPIB 接口总线，基于VISA 库和标准化SCPI 指令集，建立软硬件通信，配置测试参数，实现被测件S 参数连续测量，记录和分析测试数据。微波探针可靠性测试系统的组成框图如图1 所示。

图1 系统组成框图

■2.2 系统硬件设计

工控计算机通过GPIB 控制卡与矢网连接，以控制测试状态和读取解析数据；通过USB 连接光学显微镜，用于测试前辅助初始位置参数的确定，和观察测试前后触点变化；通过COM 与自动插拔力测试机改装的运动平台通讯，传递参数和触发运动。

2.2.1 工控计算机

工控计算机采用研华科技610L，主要用来安装LabVIEW 开发平台和插拔力测试机、光学显微镜等的控制程序。……