耿 健， 王晓冬， 郭美如， 黄海龙

(1. 东北大学 机械工程与自动化学院， 辽宁 沈阳 110819； 2. 兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室， 甘肃 兰州 730000)

溅射离子泵被用于获取超高真空，而且它正朝着小型化、微型化的方向发展[1].微型溅射离子泵应用广泛，如空间质谱计[2]、原子钟[3]、高精度静电悬浮加速度计[4]和其他很多电子器件，均需其来维持高真空才能保证正常工作.同时上述这些器件在使用中往往需要尽可能小的体积，因此需要对微型溅射离子泵进行准确测量，在满足工作需要的前提下给出最小体积的设计方案.但微型溅射离子泵小抽速测量标准尚未建立.

小抽速测量方法已取得很多进展.Li等[5]测量得到了不同种类电离真空计的抽速和放气率，但所提出方法的测量不确定度大,不能准确测量低于1×10-4m-3/s时的抽速.文献[6]测量了非蒸散型吸气剂泵(NEG泵)的抽速，测量抽速最小可为1×10-5m3/s.Wu等[7]测量了电离真空计与NEG泵组合极小抽速，但在测量时使用的电离真空计造成的误差大.Sorenser等[8]采用动态流导法对火星探测器上所使用的一种溅射离子泵进行了抽速测量，但测量得到的结果均高于1×10-3m3/s.虽然已经开展了很多小抽速的测量研究，但对于溅射离子泵的小抽速测量却很少，而且很多测量小抽速的方法不适合测量溅射离子泵的抽速.在已有的一些测量微型建设离子泵抽速的研究基础上，基于流量计法搭建了抽速测量实验装置.

本文详细介绍了抽……