王 芳，金 敏，申璐青，陈 磊

( 中国电子科技集团公司第二研究所， 山西 太原030024)

信息技术的发展离不开显示技术，人机对话最直接的界面就是显示器。显示器件在信息产业中的地位是不言而喻的。在人工智能、物联网、5G、超高清等新技术不断发展，持续突破的阶段，显示屏幕承担了信息呈现的重要作用，是信息技术创新链条上的重要一环。

柔性AMOLED（有源矩阵有机发光二极管）屏幕与智能手机的结合不仅带来了全新的折叠手机，同时也涉及到柔性电子材料、精密元器件、屏下传感器、软件开发等多个领域，对于上游技术创新与发展具有极强的带动作用；另一方面，柔性产品与智能网联汽车、智能家居、人工智能等其他新技术相结合，也大幅增加和丰富了人机交互应用场景，有望为显示产业乃至整个电子信息产业带来新模式、新业态和新变革。AMOLED 智能除泡生产线装备在应用上具有广泛性，需求非常旺盛，实现国产化自主可控极为重要。

1 核心工艺研究

柔性AMOLED 手机屏的基本结构如图1 所示，在每一层之间进行贴合后，需要利用压力及温度变化将贴合过程中产生的气泡散开，增强不同材料之间的粘合力。在整个柔性AMOLED 屏的生产线中，有三处不同的工艺阶段均需进行除泡。

图1 屏幕结构示意图

1.1 气泡产生的原因

屏幕贴合后气泡产生的原因为贴合上下表面不完全平整。比如在CG 盖板边缘会集成很多线路，这些线路会使盖板边缘的厚度变得不均匀产生高度差，中间的贴合胶如果很薄，贴合屏幕后很容易出现气泡反弹的情况。……