崔增燕

摘 要 集成电路行业高速发展，洁净室暖通设计须达到相应标准要求，符合行业要求才能够适应现代化生产所需，才能够为集成电路生产环节提供保障基础。在集成电路行业不断优化的过程中，暖通设计关系到厂房中整体集成电路生产的质量，因此需要强化厂房洁净室的暖通设备，进一步推进集成电路行业发展。

关键词 集成电路 厂房洁净室 暖通设计

中图分类号：TU83;TN4 文献标识码：A 文章编号：1007-0745（2022）06-0091-03

近年来，集成电路行业迅速崛起的同时，工艺方面进一步呈现飞跃式的发展态势，在此过程中，对于生产环境及其他配套设施的要求越来越严苛，且唯有这些方面都达标后，才能够对生产质量的提升、效率的提升等发挥有力的促进作用。为此，集成电路厂房洁净室暖通设计环节，不可有一丝马虎，需要集中相应的资源，实施切实性的关注及管控工作，促使暖通设计的合理性、科学性提升后，暖通设计成果才能够获得理想化的成果。

1 净化空调系统

目前，净化空调主要有以下三种形式：

第一，二次回风系统应用环节，促使室内回风与新风混合后，进一步经过过滤、加湿等工序功效作用的发挥，得以与二次回风混合应用，再次经再热、风机加压等一系列工序，回风得以通过风口送至室内后，才能够确保室内生产环境的达标，使生产过程顺利有序地开展。实际应用过程中，该系统一般设计为定风量，通过风机变频控制所发挥的效力作用，过滤器的阻力影响度才能够得以减少。……