李兴然

渗透率提升+国产芯片崛起双重驱动，掩膜版行业进入高速增长通道。

行业进入高速增长通道

掩膜版是光刻工艺的“底片”，市场规模稳步提升：掩膜版是微电子制造过程中的图形转移工具或者母版，承载着图形设计和工艺技术信息，被应用于半导体芯片（IC）、平板显示（FPD）、触控（TP）、电路板（PCB）等行业。

根据SEMI 的数据，全球半导体材料市场规模从2017年469亿美元增长至2021年643亿美元，其中掩膜版占比约12%;由此推算，我们认为IC掩膜版市场空间约77.16亿美元。根据Omdia的研究报告，显示面板行业掩膜版全球需求2021年预计大约为60亿元，中国大陆占比约52%。

掩膜版行业具备逆产业周期行业特性，芯片产业创新促进行业高速发展。掩膜版行业具有部分逆产业周期的特性，类似于机械制造业的模具，产品需求主要依赖下游行业的产品创新，跟下游产品的销量和价格没有直接联系。因此随着我国半导体芯片行业的国产替代推进，芯片公司将会不断推出新的产品料号，对于掩膜版的产品需求不断增加。

下游客户扩产进程顺利，掩膜版需求水涨船高：半导体芯片方面，SEMI预计从2021年下半年到2024年，将有25家新建的8英寸晶圆厂以及60家12英寸晶圆厂投入运营。随着中国大陆地区晶圆厂的快速扩产，预计IC掩膜版的份额将快速提升，完成市场空间与国产替代的双重增长。平板显示方面，根据路维光电招股书预计，2023年中国大陆有18条8.5/8.6代高精度TFT 产线，以及22条6代及以下高精度线完成建设并投产。预计平面显示精细化、大尺寸化的发展趋势将稳定贡献市场增量。

IC掩膜版行业国际龙头仍占据绝对优势，国产替代任重道远。截止2019年，全球前三大的IC掩膜版市场依次是中国台湾（37.92%）、韩国（20.91%）、北美（19.33%），中国大陆仅占比0.6%。随着国内掩膜版厂商能力的不断增长和下游晶圆厂的话语权的不断增加，国产替代的节奏有望提速。

四个标的简介

建议关注掩膜版制造领域的领先企业路维光电、清溢光电，以及具备石英材料供货能力的菲利华、石英股份。

路维光电（688401）：FPD掩膜版全世代产线覆盖，G11技术引领国产。经过多年技术积累和自主创新，公司在G11超高世代掩膜版、高世代高精度半色调掩膜版和光阻涂布等产品和技术方面，打破了国外厂商的长期垄断。公司拥有国内首条G11超高世代掩膜版产线，是国内唯一一个覆盖G2.5-G11全世代产线的国产厂商。公司G11掩膜版产品的下游客户主要为京东方和华星光电。同时，公司实现了250nm制程节点半导体掩膜版量产，并掌握了180nm/150nm节点半导体掩版制造核心技术，满足先进半导体芯片封装和器件等应用需求。公司在平板显示领域的主要客户为京东方、华星光电、中电熊猫、天马等公司;在半导体领域，公司已有客户士兰微、晶方科技、华天科技、通富微电等。

公司将持续投入研发，母公司和路维科技研发团队主要的研发领域为G6及以下TFT掩膜版及半导体掩膜版光刻精度及效率提升、高效脱膜技术、掩膜版表面防护技术、电子束光刻及干法制程研究等;成都路维研发团队主要的研发领域为G8.5及以上TFT掩膜版高精度光刻工艺开发、掩膜版涂布工艺开发、高世代掩膜版光学膜贴附工艺开发等。

清溢光电（688138）：二十年磨一剑，国内最大掩膜版厂商。经过二十多年的努力，公司产品完成了从低精度、小尺寸到高进度、大尺寸的跨越。目前，公司客户包含了国内外的领军企业，比如FPD领域的京东方、天马、华星光电、群创光电、瀚宇彩晶、龙腾光电、维信诺等等;IC领域的客户包括中芯国际、英特尔、艾克尔、顾邦科技、长电科技、士兰微等等。

根据公司2021年年报，在平板显示用掩膜版技术方面，已实现8.5代高精度TFT用掩膜版以及6 代中精度AMOLED/LTPS用掩膜版的量产，并完成了掩膜基板涂胶工艺的试产，推动半透膜掩膜版（HTM）产品的逐步量产。正在研发8.6代高精度TFT用掩膜版和6代高精度AMOLED/LTPS用掩膜版，已规划6 代超高精度AMOLED/LTPS用掩膜版和高规格半透膜掩膜版（HTM）开发计劃。半导体芯片掩膜版技术方面，已实现250nm工艺节点的6英寸和8英寸半导体芯片用掩膜版的量产，正在推进180nm 半导体芯片用掩膜版的客户测试认证，同步开展130nm-65nm半导体芯片用掩膜版的工艺研发和28nm 半导体芯片所需的掩膜版工艺开发规划。

菲利华（300395）：专注石英玻璃领域数十年，多家国际龙头企业认证。公司专注开发气熔石英玻璃、合成石英玻璃、电熔石英玻璃与石英玻璃纤维及制品，主导产品有石英玻璃锭、筒、管、棒、板、片，光学用合成石英玻璃，石英玻璃器件，石英玻璃纤维系列产品，石英玻璃纤维立体编织预制件，以石英玻璃纤维为基材的复合材料。公司产品应用于半导体芯片制造、航空航天、光学、光通讯等领域。半导体领域作为公司最重要的下游市场之一，公司持续投入研发以及客户开发;公司是国内首家获得国际领先半导体设备商认证的供应商，其气熔石英玻璃材料于2011 年通过了日本东京电子株式会社半导体材料认证，之后又获得了泛林研发和应用材料公司等半导体设备商的认证。同时，电熔石英玻璃材料研发成功送样客户并得到客户认可，上海石创的石英玻璃器件加工通过上海中微半导体的认证。公司于2021年推出了国内首创的8.5 代TFT-LCD光掩模基板以及合成石英光栅反射镜、大规格高均匀高能激光透镜用合成石英玻璃材料。

石英股份（603688）：半导体级石英促进业务增量，利润率稳步提升。公司主要使用天然石英矿石材料，专注于研发、生产与销售。主导产品有高纯石英砂、石英管（棒）、大口径石英扩散管、石英筒、石英锭、石英板等及多种石英器件，主要应用于光源、光伏、半导体、光纤光学等领域。

公司聚焦于半导体石英材料在终端晶圆制造商及半导体设备商的产品认证和市场推广，产品在半导体的应用领域不断扩大，预计市场占有率将持续提高。2021年公司石英材料通过东京电子半导体刻蚀认证，并在2020年下半年通过美国Lam Research的刻蚀石英认证。石英内外腔产品也在化合物半导体产业得到应用。目前公司在半导体石英材料的市场还处于起步发展阶段，发展空间广阔。随着公司在半导体产业加大研发投入，开发更多产品，半导体领域将成为公司未来重要的增量市场。

图：掩模版的上下游

来源：安信证券