3月23日凌晨，中国台湾台东县海域发生6.6级地震，此后大小余震不斷。台积电、联电、南茂等半导体厂人员皆平安，仅一些敏感机台宕机。其中在南部科学园区部分，群创有部分机台宕机，但最后确认并无影响。

台积电表示，大部分厂区都没有达到疏散标准，只有零星疏散，地震后，很快回到生产线;联电表示，员工及厂房均安全，部分机台启动保护停机功能需要重新开机，整体第一季业绩不受影响。