胡凯凯， 尹加文， 麦裕良， 栾安博， 郜晚蕾, 金庆辉

(1.宁波大学 信息科学与工程学院，浙江 宁波 315211； 2.广东省石油化工研究院 技术开发中心，广东 广州 510665;3.中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室，上海 200050)

0 引 言

海洋环境参数对渔业养殖[1]、资源勘探[2]、海上军事行动和海战武器装备[3]的影响因素多、作用大、范围广、过程长，对未来海战的胜败尤为重要。大面积网格化连续性精确测量海洋环境参数，获取海洋环境大数据量信息对海洋渔业养殖、海洋生态变化监测、海上军事行动具有重要的意义。自主研发具有微型化、低功耗、一致性好、稳定性好等显著特色的精密测量微纳传感器十分必要和迫切。

海水的盐度指的是海水中全部溶解的固体与海水的质量比，是衡量海水含盐量的一个标度，是海水的一个重要特性。海水的盐度与其电导率呈正比关系，所以也可以用电导率值来反映海水的盐度[4]。海水的酸度通常指的是海水中的pH值，由于海洋酸化这一现象影响[5]，海水参数近年来也受到极大的关注。温度是最基本的单位之一，海水盐度与酸度也与其有关，因此在测量这些参数时，测量水体的温度可以有效地对测量进行补偿来提高测量值的准确性。

1 设 计

高精度海洋温/盐/酸度微纳传感器设计如图 1所示。参比槽中含有饱和氯化钾(KCl)溶液，饱和KCl溶液通过注液孔注入，接着用密封胶将注液孔封住。参比槽中的溶液与外界溶液通过纳米通道阵列进行离子交换。……