同济大学 沈晋明 刘燕敏

0 引言

洁净室技术和微污染控制对高科技发展至关重要，到20世纪60年代已经成为了一门独特的学科与技术。以芯片、制药和生物技术为代表的现代高科技的发展，对受控环境的控制要求越来越高，控制的参数越来越多，控制粒子粒径越来越小，控制浓度越来越低，进入了动态控制的时代。促使净化空调控制技术持续发展而长盛不衰，成为高科技发展的一种不可缺少的环境控制技术。

高科技产品是知识密集、技术含量大、具有高附加值的创新产品，产品开发与更新速度已成为竞争的主要手段，不断更新的工艺成为关键。这一高科技发展特点必然对环境控制设施提出新的挑战，如何使满足新工艺要求的洁净设施尽快建造与运行，如何使配套的净化空调系统尽快地适应不断变化的工艺，是值得探讨的问题。

高科技对受控环境的要求越来越高，受控环境设施的造价与运行费用也随之不断增长。这一问题不解决，必然会成为高科技竞争与发展的负担，甚至障碍。要增加高科技的竞争力，使高科技可持续地良性发展，降低其设施造价与运行费用成为了关键。

1 工艺环境控制的沿革

降低高科技设施造价与运行费用历来不是单纯从受控环境控制设施系统着手，而是结合高科技工艺改革，改变生产模式，创造新的工艺形式，才能实现更有效、更节能地控制工艺环境，持续不断推进高科技发展。另一方面，高科技工艺发展与革新也会不断对洁净技术提出新的要求，洁净室技术也要与时俱进，相应地开发出各种净化空调系统与送风模式[1]。……