刘 璇 宋张勇张秉章 钱 程方 兴 邵曹杰王 伟刘俊亮 徐俊奎 冯 勇 朱志超 陈 林 郭艳玲 孙良亭杨治虎 于得洋

1（中国科学院近代物理研究所 兰州730000）2（兰州大学核科学与技术学院 兰州730000）3（南华大学核科学技术学院 衡阳421001）4（中国科学院大学核科学与技术学院 北京100049）

高电荷态离子与固体表面相互作用中发射的X射线是高电荷态离子与物质相互作用过程中的重要物理问题之一。高电荷态离子与固体表面相互作用的研究在国际上历来备受关注［1-4］，其中X射线发射研究涉及原子结构、能级寿命、离子中性化以及能量沉积机制等。高电荷态离子与固体表面的相互作用在固体表面处理和固体结构分析等领域具有广泛的应用。此外，高电荷态离子与半导体材料的相互作用在新材料的研究和表面改性，以及急需的新型纳米材料和超小尺寸半导体芯片的研制［5-8］等方面发挥着重要作用。

过去的20年中，已经有多个课题组对低速（速度小于玻尔速度VBohr=2.9×106m·s-1）高电荷态离子与固体表面的相互作用进行了研究。Hagstrum等［9-10］研究了He1+、Ne1+、Ar1+、Xe1+、Xe5+离子入射钨表面的Auger电子能谱；Briand等［11］研究了低速高电荷态Ar17+离子与不同的金属表面相互作用形成的多激发态“空心原子”的性质；Meyer等［12］报道了不同电荷态的N离子和Ar离子与Au（110）和Cu（001）表面作用过程中发射电子的能量分布；中国科学院近物所的研究小组［13］利用Xeq+（q=12～29）与Al相互作用，证明了分子轨道晋升机制是下表面“空心原子”激发的重要方式。当低速高电荷态离子与固体表面相互碰撞时，由于它们之间存在巨大的库仑相互作用，库伦势能占据主导地位。……