解宗梁，许京娟

(山东百特电机电器有限公司，山东 烟台 265718)

随着微加工和微电子技术的日益更迭发展，MEMS也不断发展，研究人员借助微加工技术，制造了能满足相关需求的微米纳米结构，实现器械微小型化，基于此，在相关领域中MEMS技术得到了广泛应用，并打开了全新的用途。智能化程度高、质量小、体积小、能耗低和可批量制造是MEMS技术的显著优势。在微电子技术高速发展背景下，MEMS技术也在日益完善发展，并成为一项非常重要的战略前沿高新技术，深受社会各界的高度重视，投入了大量的资金和物力进行研究[1]。在微电子技术催生下，电镀、脉冲激光沉积、溅射、丝网印刷术等技术得以高速发展，为研究人员制造微米级尺寸的永磁体创设了机会，越来越多的研究者基于此电机进行微型设计，所以研究微型电磁式电机具有至关重要的价值意义。

1 微机电系统(MEMS)概述

微机电系统主要由三部分组成，即控制电路、微传感器、微执行器，将控制电路和微型器件集为一体，借助收集获取集成信息、执行命令、处理信息等功能，构建卫星信息处理系统，这种系统将多功能集为一体，服务于宏观大系统，通过电磁、光、电、声等形式与外界进行同行，在卫星信息处理系统中通过对信息的加工处理，系统会自动执行相关指令，或是根据指令向外界系统传递信息，以此达到与其他系统协同工作的目的，从整体上促进系统可靠性、自动化、智能化的全面提升[2]。EMS结构具体如图1所示。……