石新民 ，莫德锋 ，范 崔 ，张 阳 ，李 雪

（1.中国科学院上海技术物理研究所 a.传感技术国家重点实验室，b.红外成像材料与器件重点实验室，上海 200083；2.中国科学院大学，北京 100049）

0 引言

红外探测器技术有探测精度高、环境适应性强的特点，广泛应用于预警探测、情报侦察、精确打击、夜视和气象观测等领域[1]。

目前红外探测器向着超长线列、超大面阵的方向发展，这对红外探测器封装杜瓦提出了高可靠、长寿命及轻量化的要求，杜瓦是影响整个探测器组件可靠性的重要因素。图1[2]为典型的集成式杜瓦封装结构，光学窗口与外壳焊接并保持较低的漏率，红外探测器焦平面阵列通过基板和冷平台与冷指相连，斯特林制冷机为组件提供冷量维持工作温度。杜瓦内部高真空的保持可以有效减少杜瓦漏热，延长红外探测器的工作寿命。当在杜瓦内部压力升高到一定程度时，可以通过激活非蒸散型吸气剂（NEG）吸收腔体内气体，延长杜瓦的真空寿命。

图1 典型的集成式杜瓦封装结构图Fig.1 Typical integrated Dewar packaging structure

本文介绍了国内外红外探测器杜瓦真空寿命的研究进展，分析了红外探测器真空寿命的影响因素，包括杜瓦漏气、材料放气等。总结了提高探测器杜瓦真空寿命的工艺。

1 杜瓦真空寿命研究进展

红外探测器多用于航天、军事等领域，国内外有诸多公司、科研院所对探测器杜瓦进行研究以满足其长真空寿命、高可靠性的要求。

1.1 国外红外探测器真空寿命研究进展

Sofradir从上个世纪90年代开始涉足红外探测器空间应用及地球观测[3]。……