周 豪

（1.中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京100176；2.三河建华高科有限责任公司，河北 燕郊065201）

据SEMI数据统计，2020年全球半导体测试设备市场规模达到52.2亿美元，2021年将会达到56.1亿美元。随着国内多家晶圆厂及实验室的建立，国内探针台市场规模2019年约为10.25亿元，2022年将增长到15.69亿元。

半导体行业的迅速发展，使半导体产品的加工面积不断缩小，复杂程度与日俱增，生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用机械、光学、物理、化学等学科技术，具有技术壁垒高、制造难度大及研发投入高等特点。探针台属于关键的半导体测试装备，在整个半导体产业的多个环节起着重要作用，是晶圆厂和元器件封测企业的重要设备之一。随着自动化技术的飞速发展，自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆的电气参数、光学参数进行测试，根据测试结果评定上一道工序的工艺质量，并指导下一道工序。

不论哪种类型的探针测试台，X-Y工作台都是其最核心的部件，工作台步进精度的高低直接关乎设备测试晶圆的种类及应用场合，标志着设备控制技术的优劣。借助现代科技的飞速发展，X-Y工作台控制技术也达到前所未有的水平，其中大尺寸晶圆300 mm（12英寸）探针台X-Y工作台X、Y轴定位精度及重复定位精度分别达到2μm和1.5μm确实令人振奋。本文主要介绍几种常用探针台X-Y工作台的结构、特点及控制方法。

1 探针台X-Y工作台分类

探针台X-Y工作台结构主要是3种，以美国EG公司为代表的平面电机型X-Y工作台（又叫磁性气浮工作台）、日本及欧洲国家及国内厂家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的X-Y工作台及直线电机X-Y工作台。……