牛 娜，窦 微，浦双双，刘天虹,2，魏程亮，宋海龙，郑 权,2*

（1.长春新产业光电技术有限公司，吉林 长春 130012；2.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033）

1 引言

与传统的红外、可见波段激光器相比，紫外激光具有光子能量高、波长短、冷处理、聚焦性能好等显著特点[1-4]，尤其是200～280 nm波段的紫外激光器在非接触式高精密光学加工、精微材料与器件制造、特殊材料处理、光谱检测、光化学/生化学、医疗等行业颇具吸引力[5-6]。与其他传统的紫外激光器，如He-Cd气体激光器、等离子体紫外激光器相比，二极管泵浦的全固态紫外激光器在工作效率、维护成本、系统体积等方面有更大的优势[7]。

一般而言，全固态紫外激光器获得200～280 nm紫外波长的途径有以下几种形式：以氮化镓铝为发光层的激光二极管可直接输出紫外波长激光；用非线性晶体对输出近红外波长的激光二极管进行非线性频率转换获得紫外波长激光；二极管泵浦的掺铈激光器可输出紫外波段的可调谐激光；非线性晶体倍频绿光泵浦的掺钛蓝宝石激光器可获得紫外激光输出；激光二极管泵浦掺Nd3+离子晶体获得红外波段激光器，再用非线性晶体四倍频/五倍频获得紫外激光[8]。由于前几种获得紫外激光的方式对激光二极管性能要求很高，成本也相对较高，所以目前应用并不广泛。其中，利用非线性晶体四倍频激光二极管泵浦的Nd3+∶YAG晶体激光器获得266 nm紫外光是目前研究最成熟、应用最广泛的全固态紫外激光器方案。……