李宏达，吕佳昊，薛宸浩，韩梦凯，王超明

（1.沈阳理工大学 装备工程学院，辽宁 沈阳 110159；2.沈阳东科拉科技有限公司，辽宁 沈阳 110000）

激光检测技术是近年来在工业检测领域的一个研究热点，但是过往主要以机械接触式和物理接触式测量技术为主。如今激光检测技术完成了非接触式的测量，替代了传统的静态接触式测量，因而提高了测量的准确性，是一项具有极大价值的创新技术。为了满足工业生产的需要，我国于20 世纪80 年代末90 年代初开始研究激光测量技术，但相较于国外起步比较晚。如河北保定市蓝鹏测控科技有限公司研发的测径仪测量范围为1-50mm，测量精度为±0.01mm；四川辉煌测控研发的双向激光测径仪测量范围为0.1-20mm，测量精度为±0.001mm。大多国内测径技术依然使用传统激光扫描法等技术，比较先进的是德国西科拉工业电子公司（SIKORA AG）研制的相关测径仪测量精度可达0.2μm，测量范围为0.2-18mm，但进口和售后维修成本比较高。

目前，传统激光测径技术应用非常广泛。主要分为以下几种[1]：激光干涉[2-3]原理为利用高频的脉冲激光，通过入射激光和反射激光的相位差值来计算被测元件瞬间的位置改变，然后利用这种瞬间的位置变化量的加和可以描述元件形状轮廓的情况。但缺点是在误差补偿中误差补偿点号要从参考点开始计算，并且，补偿点号、补偿值、补偿点的位置这三个量必须要相同对应[2-3]，比较容易产生数据误差；摄像式测径[4-5]原理是白光源从一侧照射在电缆上，电缆所成阴影通过透镜系统成像于CCD 上，根据透镜成像系统的像距与物距的比例和CCD 上的阴影长，计算出电缆实际直径尺寸。……