胡新明，杨志轩，蓝 倪，方 程

(岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司，湖南 岳阳 414000)

1 前 言

电子级的反应性准分子激光混合气是集成电路(IC)制造过程中必不可少的原料。同时它也广泛应用于光电子、半导体制程、太阳能、光伏电池、显示器面板、医药等其它诸多领域。IC制造的前道工序如外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、消洗、掩膜生成等工艺，几乎都需要不同种类和不同纯度的电子气体，正是这些气体通过不同的工艺使硅片具有半导体性能。目前8 in(注：1 in=25.4 mm)以上工艺要求电子气体纯度在99.999%(5N)以上，有害杂质甚至要求达到10×10-9。电子气体可以用“超纯”、“超净”来表征。反应性准分子激光混合气由于含有某些反应性元素可与钢瓶内壁杂质、阀门和充气系统润湿表面发生反应，生成新的杂质，从而引起反应性气体含量降低，进而影响准分子激光的能量及稳定性。目前对于电子级反应性准分子激光混合气的稳定性研究较少，本文将从产品的容器处理，产品充装管道处理，产品实时稳定性测试等方面对反应性准分子激光混合气产品稳定性进行探讨。

2 产品容器及充装系统处理对反应性准分子激光混合气产品稳定性影响

2.1 容器处理

容器处理是电子特种气体生产中一个很重要的步骤。随着气体纯度的提高、产品种类的增多，对包装容器的要求也越来越高。比如高纯气体对储存设备内壁的粗糙度要求、腐蚀性气体对内壁的耐腐蚀性要求、吸附性气体对内壁的防吸附要求都是生产高纯乃至超纯气体所面临的问题。……