段磊 于长江

（河北博威集成电路有限公司 河北省石家庄市 050000）

1 引言

在现代微波电路中，衰减器已被广泛应用于需要功率电平调整的各种场合。如放大器的输入端、输出端电平的控制，分支衰减量的控制等。衰减器有无源衰减器和有源衰减器两种。有源衰减器可与其他热敏元件相配合组成可变衰减器，无源衰减器又有固定衰减器和可调衰减器之分。本文主要探讨固定衰减器的研制过程。

衰减器常用于微波系统中控制传输功率的大小，其技术指标包括工作频率、衰减量、衰减平坦度、功率容量、电压驻波比等。随着微波系统的集成化发展，电子元件的小型化成为研制微波无源衰减器的关键问题之一。

薄膜工艺是实现电子元件小型化和微型化的重要工艺手段之一，可将衰减器的电阻元件膜式化，衰减器片式化，体积减小，结构紧凑，扩大应用频率范围。利用薄膜技术，在氧化铝陶瓷基片上通过真空蒸发工艺、溅射工艺和电镀等薄膜工艺，制造出具有功率衰减功能的微波片式固定衰减器。该系列宽带固定衰减器具有体积小、无引线、重复性好、适于批量生产等特点，应用广泛。

2 研究内容和目标

2.1 材料

固定衰减器（以下简称衰减器）的基板材料选用氧化铝陶瓷基板，厚度为0.3mm。衰减器的电阻材料主要采用氮化钽材料[1]，这是基于氮化钽材料良好的TCR（-100 ～-150ppm/℃），以及在较恶劣的环境变化情况下所表现出来的良好的稳定性与可靠性决定的。

根据衰减器应用场景及装配方式确定衰减器金属区材料选择镍金，适用于表贴装配，以便焊接。……