黄先奎

(中国电子科技集团有限公司，北京 100846)

0 引 言

随着制造技术水平的显著提高，新型科技与产业的制高点依赖于一项关键技术——纳米技术. 纳米技术是指使用单个原子或分子实现超精密加工的技术，主要包括：纳米物理学、纳米生物学、纳米电子学以及纳米计量技术等[1]. 其中，纳米计量主要包括纳米级精度尺寸和位移的测量、纳米级表面形貌的测量以及纳米级物理与化学特性的测量，其不仅能够表征纳米尺寸器件，也在半导体制备工艺中起到关键角色.

在半导体行业中，微电子器件存在大量几何量参数，包括膜厚、台阶、光栅以及线宽等，是影响器件整体性能的关键参数. 针对几何量参数的主要测量仪器包括椭偏仪、台阶仪、白光干涉仪、扫描电子显微镜和原子力显微镜等. 随着器件尺寸的不断缩小，对关键参数的测量准确度要求越来越高，几何量参数测量仪器的校准问题越来越突出. 近年来，美国NIST、德国PTB、中国计量院、中国电科十三所等国内外计量机构通过研制纳米计量标准，搭建可溯源的标准装置，研究测量方法等手段，进一步提高了仪器的测量准确度[2]. 在纳米计量技术中，纳米计量标准像一把“尺子”，可以为具有纳米精度的几何量参数测量仪器进行校准，测量结果可溯源于国际单位制，进而大幅度提高仪器准确性和可靠性[3]. 因此，本文就纳米计量标准的发展现状和趋势展开论述.

1 纳米计量标准的发展现状

纳米……