王敬凯，陈 捷，刘 帅，睢贺良，索志荣，银 颖，

（1. 西南科技大学材料科学与工程学院，四川 绵阳 621010；2. 中国工程物理研究院化工材料研究所，四川 绵阳 621999；3. 西安石油大学理学院，陕西 西安 710065）

1 引言

金属铝粉的化学性质较为活泼，在空气环境下极易发生表面氧化而形成“金属核/氧化层”的核-壳结构［1-2］，且高温、高相对湿度及高比表面积等条件均会加速其氧化过程［3-4］。表面氧化层将对微纳米尺度下金属铝颗粒的化学活性、燃烧特性及导热系数等性能造成不良影响［5-8］。因此，精确表征铝粉颗粒在不同环境下的表面氧化层结构，将为提高其在严苛条件下的服役性能提供重要参考。高分辨透射电子显微镜（High Resolution Transmission Electron Microscopy，HRTEM）能够实现对纳米级铝颗粒微观结构的直接表征［9-12］，然而，当铝颗粒尺度处于微米或亚微米量级时，电子无法穿透样品导致其内部结构无法成像，严重限制了对铝粉颗粒表面和内部结构的有效分析。同时，由于加工精度的限制，传统的离子减薄、双喷等手段也无法满足TEM 样品制备及表征的要求。因此，选择先进的微纳米加工技术，开发针对微米尺度材料的结构表征新方法，对研究铝粉在不同老化条件下的结构演化过程具有重要意义。

聚焦离子束（Focused Ion Beam，FIB）技术是把离子束斑聚焦到亚微米甚至纳米级尺寸，通过偏转系统实现微细束加工的新技术，可实现对材料微观区域的高精度减薄、刻蚀等功能，目前已广泛应用于微/纳米加工领域［13-14］。然而，借助FIB 技术对微米铝颗粒进行高精度微纳米加工，实现其“金属核/氧化层”表界面结构的有效表征，目前相关的研究工作仍未开展。……