蔡永香

在如今的信息时代，半导体产业的重要性愈发凸显。半导体产业不仅是传统产业智能化升级的基础支撑，同时也是推动新兴技术与产业发展的关键所在。半导体材料是制作半导体器件和集成电路的电子材料，是半导体工业的基础，在半导体产业中扮演了举足轻重的角色，“半导体材料的水平是衡量一个国家精细化工产业水平的重要标志”，这一说法不无道理。

1 概述

在以硅（Si）为代表的第1代半导体材料、以砷化镓为代表的第2代半导体材料得到广泛应用之后，当下第3代半导体材料开始活跃在时代的舞台。第3代半导体材料，主要指以氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）、氮化铝（AlN）、氧化锌（ZnO）、氧化镓（Ga2O3）和金刚石为代表的宽禁带半导体材料，是支撑信息、能源、交通、国防等产业发展的重点新材料，被认为是对未来综合国力、国防安全具有重大影响的战略技术。从第3代半导体材料和器件的研究与应用情况来看，当前材料和应用技术发展最快的是SiC和GaN半导体材料，而目前对ZnO、金刚石和AlN等的研究仅限于对材料的制备技术的研究。

SiC和GaN半导体材料主要应用为半导体照明器件（LED）、电力电子器件、射频功率器件、激光器和探测器等4大器件，其中半导体照明产业发展最为迅速，已形成百亿美元的产业规模。电力电子器件是第3代半导体应用市场迅速增长的行业。GaN射频器件是第3代半导体最早应用的领域，目前是5G基站建的重要射频器件。在激光器和探测器应用领域，GaN基激光器可以覆盖到很宽的频谱范围，实现蓝、绿、紫外激光器和紫外探测器的制造。……