赵 琳 张晓东 李锁印 韩志国 吴爱华

（中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄 050051）

1 引言

扫描电镜是实现纳米测量的一种重要工具，主要用于观察、分析在微米或纳米范围内所发生的物理、化学现象以及相关量的准确测量。随着纳米科技、生命科学的蓬勃发展，扫描电镜已广泛应用于微电子、半导体、生物医学等各个学科中。在微电子行业中，通常采用扫描电镜解决器件制造过程中大量芯片结构的测量问题，特别是线条尺寸的测量。由于扫描电镜是采用电子束逐点逐行扫描成像，XY方向的扫描图像尺寸将受XY方向扫描电子线路的影响，随着仪器的不断使用，其电子线路会随着时间发生变化，从而会影响扫描电镜扫描图像的质量，可能会引起图像放大倍率偏差和XY方向图像畸变等问题。同时扫描电镜作为微电子行业内微纳尺寸测量的关键工具，其长度测量结果的准确性也十分重要，也需要溯源，因此有必要对该种设备进行校准。

国内外大多计量机构通常都采用多种尺寸的线距标准样片对扫描电镜放大倍数的示值误差、重复性和图像畸变等参数进行校准。线距的定义为样品上最靠近的两个相似特征之间的最小间隔，这种间隔在重复的样式上是相等的，因此线距标准样片是具有固定周期间隔尺寸的标准物质，是用于实现微纳尺寸从国家计量标准部门的标准器件传递到实际生产和制造中的重要传递介质［1］。……