李靖 张少斌 徐蓬勃

[摘    要]介绍三氟化氮气体的用途、生产工艺及和利时MACS-K系统的特点，主要阐述MACS-K自动控制系统在电解法生产三氟化氮中的网络结构、各工段控制要点，以及系统的应用特色，总结了在硬件设计和软件设计中的注意事项。

[关键词]三氟化氮;电解法;MACS-K

[中图分类号]TQ320.5;TP273 [文献标志码]A [文章编号]2095–6487（2021）07–00–03

Application of Hollysys Macs-k System in Production of Special Gas Nitrogen Trifluoride

Li Jing，Zhang Shao-bin，Xu Peng-bo

[Abstract]This paper briefly introduces the use of nitrogen trifluoride gas， the production process and the characteristics of Hollysys macs-k system， mainly expounds the network structure of macs-k automatic control system in the electrolytic production of nitrogen trifluoride， the control points of each section， and the application characteristics of the system， and sums up the matters needing attention in hardware design and software design.

[Keywords]nitrogen trifluoride; Electrolysis method; MACS-K

1 三氟化氮氣体的用途和生产工艺

三氟化氮（NF₃）在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。NF3在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子。高纯NF₃具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面也得到了大量的应用。

目前，NF₃的制备方法主要有直接化合法和氟化氢铵熔融盐电解法2种。在直接化合法生产NF₃的过程中不产生爆炸性气体，生产比较安全，但是化学合成的过程不易控制，杂质含量比较多，其工艺设备比电解法设备复杂。电解法生产NF₃过程中，HF和F₂得不到充分利用，不可避免地会造成环境污染、原料浪费，但其所用生产设备成本低，产品效率高。直接化合法和电解法各有优缺点，目前，日本与我国国内生产高纯NF₃的厂家大多采用NH₄HF₂熔融盐电解法。

2 和利时MACS-K系统特点

和利时集团作为中国领先的自动化系统解决方案供应商，在工业自动化领域已深耕多年。其过程自动化系统产品服务于核电，火电，新能源，炼化，化工，冶金，建材，制药等多过程工业，成功实施4万多个项目。……