田劲，牛亚然，侯清宇，钟鑫，黄贞益，郑学斌

（1. 安徽工业大学，冶金工程学院，马鞍山243002 2. 中国科学院上海硅酸盐研究所，上海 201899）

0 引言

硅基陶瓷材料，如SiC、C/SiC、SiC/SiC 等，具有密度低、耐高温、力学性能优异等特点，有望替代高温合金，应用于航空发动机热端部件[1,2]。然而，环境障涂层(Environmental barrier coating，EBC)体系的Si 粘结层与基体之间的结合是其薄弱环节，将会严重影响EBC 的服役寿命，导致基体材料的力学性能显著下降[3,4]。

涂层与基体的结合强度是评价涂层质量和可靠性的重要指标之一[5,6]。影响涂层与基体结合强度的因素较多，其中基体表面预处理状态是重要的影响因素之一[7]。基体表面处理有多种方法，包括喷砂处理、高温熔盐处理、激光刻蚀、砂纸打磨、酸洗、磷化等[8,9]。其中应用最为广泛的为喷砂处理，然而相比金属基体，SiC 陶瓷硬度极高，使用喷砂方法易造成表面粗糙度不均匀，影响涂层-基体的界面性能[10]。

熔盐处理是在基体表面涂覆一定浓度的蚀刻剂，然后将试样放入高温环境保温一定时间，然后酸浸泡以去除表面腐蚀产物的表面处理技术[11-13]。熔盐处理方法能活化基体表面，增加基体表面粗糙度，并且具有工艺简单、操作简便、成本低等特点[10]。孙荆[11]等人研究了SiC 陶瓷在Na2CO3熔盐中1000℃条件下的腐蚀特性，发现腐蚀主要发生在晶界和晶粒表面的缺陷处，同时随时间延长，SiC 晶粒本身也被腐蚀，SiC 晶粒表面变得相对光滑，出现了一些沟槽；腐蚀产物除玻璃态Na2SiO3外，还有结晶型Na2Si2O5、SiO2及少量的SiO。W. C. Say[12]等人研究了SiC陶瓷在Na2SO4熔盐中的腐蚀动力学行为，发现在900℃时，腐蚀速率相对较慢，可能因为接近Na2SO4的熔点(884℃)的原因，在900～1300℃温度范围内，SiC 的腐蚀速率随温度升高而增加。……