严银银，刘江文，梁智杰，黄钦明，勾俊峰

(广东工业大学 省部共建精密电子制造技术与装备重点实验室，广州 510006)

0 引言

润湿性是固体材料表面的一种重要的性质，可使用接触角和滚动角来衡量材料表面的润湿性。一般地，我们将接触角﹥150°滚动角﹤10°的材料表面称为超疏水表面[1]。超疏水材料在自清洁、防结冰、耐腐蚀、油水分离等领域有着广泛的应用[2-6]。

超疏水表面材料主要是通过构造粗糙结构表面和低表面能处理两种方式结合制备的[7-8]。目前，制备超疏水表面材料的方法有化学刻蚀[9-10]、电化学沉积[11-12]、电火花加工、激光纹理化[13]、等离子处理[14-15]等。其中，电火花加工是一种可以高效率地在高熔点、高强度的金属材料表面构造粗糙结构的加工方式。Zhang等[16]人使用电火花线切割通过控制电参数的方法在5A05铝上加工出了具有多纳米孔结构的表面，经过低表面能的全氟癸基三氯硅烷修饰之后，得到了接触角为152.7°滚动角为7.1°的具有耐腐蚀性的表面。Wang等[17]在铍铜上进行电火花加工和电化学刻蚀得到了具有微纳双尺度结构的表面，然后经过十四酸的修饰，得到了低粘附性的超疏水表面。Wu等[18]利用电火花线切割的方法在铜锌合金表面加工了不同尺寸的矩形结构和正弦结构，研究了材料表面结构的尺寸和外形对接触角的影响，加工出拥有正弦结构的材料表面接触角为152.1°。Bae等[19]使用电火花线切割加工的方法，在7075铝表面通过多次放电加工，并且随着加工次数增加放电参数依次降低的方式进行加工，制备出具有双粗糙度结构的超疏水表面。……