武佳娜， 李雪方， 陈 丽

(山西潞安太阳能科技有限责任公司，山西 长治 046000)

引 言

全球气候变暖，各国积极采取相应措施应对。太阳能作为一种取之不尽用之不竭的可再生能源，因其清洁性、安全性、广泛性等优点，在战略发展中占据绝对优势。目前，PERC电池是光伏市场上主流技术。高效低成本是电池生产永远的宗旨，各企业对PERC电池的生产工艺不断进行优化升级。

背面抛光[1]工艺主要是对背面金字塔绒面结构进行抛光处理，这是提高PERC电池转换效率的有效途径之一，背抛可以有效降低载流子的表面复合速率，提高少子寿命，且增加光的内反射，从而提高电池转换效率。背面抛光工艺为电池片后续镀膜作准备，其抛光效果决定背膜镀膜均匀性，进而影响背膜激光开槽的均匀性，因此碱抛工艺在电池片生产中有着重要的作用。前期，抛光工艺使用酸性腐蚀液，但酸抛在环保以及酸废液排放方面有很大的压力。碱抛液属于无机碱反应，且不含氮、氟，且抛光效果优于酸抛，在PERC电池生产线上逐渐取代酸抛。本文从碱抛减薄量入手，阐述其对抛光效果、背镀膜及电性能的影响。

1 工艺实验

实验所用硅片为P型158.75 mm×158.75 mm单晶硅片，厚度175 μm，电阻率0.4Ω·cm～1.1 Ω·cm。实验工艺在PERC单晶电池生产线上进行。其中，SEM使用JSM-IT200钨灯丝扫描电子显微镜进行测试。

生产线工艺标准为A组，即减薄量为0.1 g左右，实验B组减薄量为0.13 g左右，实验C组为0.16 g左右。碱抛减薄量通过碱抛时间控制，其余工艺均在同设备采用同工艺生产。……