肖道林 张超 房博文 薛松海 刘文志

摘要：液体静压导轨技术主要用于精密与超精密机床，现介绍静压导轨滑块的工作原理，并分别从油膜厚度、流量控制器、热变形这三个影响因素出发，对液体静压导轨的性能进行阐述，总结众多学者对这三方面影响因素的研究成果。

关键词：液体静压导轨;油膜厚度;流量控制器;热变形

0    引言

液体静压技术于1983年被应用到天文望远镜上，随后逐渐应用于超精密机床的进给系统。国内开始研究液体静压技术的时间相对国外较晚，我国液体静压技术的发展经历了原理验证、生产性试验、理论研究、技术应用这4个阶段。经过摸索与探讨，我国静压导轨技术的研究已初具规模。液体静压导轨技术具有高精度、高刚度、抗震性好、工作寿命长、工况稳定且摩擦力小等特点[1-2]，因此目前广泛应用于超精密机床的进给系统，以提高工件的加工精度。

德国海浮乐公司在液体静压导轨项目上的研究处于世界领先水平，该公司提出了将液体静压导轨模块化的概念，所谓“模块化”是指液体静压导轨滑块集流量控制器、静压油腔、油腔压力传感器于一体，且集成化的静压滑块具有较高的互换性。我国在液体静压导轨技术方面相对来说较落后，无法对静压导轨滑块进行模块化处理。

流量控制器的原理方法也不尽相同，德国海浮乐公司采用PM（Progressive Mengen）流量控制器进行液压油流量、油压的控制，如图1所示。PM流量控制器是一种预压调型单面薄膜反馈节流器，液压油进入PM流量控制器后分为两部分，一部分调节腔室油压以达到预紧的目的，另一部分则沿本体底部进入矩形的节流槽，其对油膜厚度的控制已达到世界顶尖水平。……