卫杰，吴敏娴，王历，王文昌，陈智栋

（常州大学石油化工学院，江苏常州213164）

类金刚石薄膜由于具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性好、化学惰性和从红外到紫外较宽范围内的高透射比等一系列优点，可以广泛应用于机械、电子、化学、军事和航空航天等领域［1-3］。因此，类金刚石薄膜的研究在近20年中得到了广泛关注。

研究表明，以乙酸为碳源，在其水溶液中可在常温、低电压条件下电沉积得到类金刚石薄膜。以乙酸水溶液作为碳源，既没有危险气体放出，也符合当今绿色环保化学的要求，所以广受关注。Gupta［4］等电解乙酸体积比为1%和0.5%的乙酸水溶液，用氧化铟锡导电玻璃为基材，在2.1 V，85℃的条件下，得到厚度为0.5～1 μm的类金刚石薄膜；并得出：在不同的沉积电压下，薄膜的粗糙度不同。但是由于以乙酸为碳源得到的薄膜表面普遍比较疏松，颗粒粒径大，又由于乙酸为弱电解质，使得后续的沉积过程中有效碳源的浓度降低，导致薄膜不能持续生长。有研究者尝试使用卤代羧酸作为碳源电沉积类金刚石薄膜，如张倩［5］等在常温，低电压（3 V）条件下，在氯乙酸水溶液中，在FTO导电玻璃上成功的得到了类金刚石薄膜，并且薄膜比较致密，颗粒粒径较小，所以可能以氯取代乙酸作为碳源能够改善薄膜的表面形貌以及结构。

根据之前的研究，包含有活性甲基（分子中甲基直接有极性基团键合）的有机物适合做电化学沉积类金刚石薄膜的碳源，因为在反应过程中甲基容易断键，生成活性中间体，进而能够形成类金刚石薄膜。……