陈 冰 罗 良 焦浩文 邓朝晖 姚洪辉

1.湖南科技大学智能制造研究院难加工材料高效精密加工湖南省重点实验室，湘潭，4112012.中山联合光电科技股份有限公司，中山，528437

0 引言

近年来，非球面光学元件在军用和民用产品上广泛使用[1]，这些光学零件多为陶瓷、玻璃、硬质合金等硬脆材料，加工难度大、加工精度难以保证。

超精密磨削技术是光学零件制备的有效方法[2-3]。非球面超精密磨削加工方法有平行磨削法、垂直磨削法、斜轴磨削法、数控包络法等，其中，垂直磨削法是工具主轴和工件主轴相互垂直且均旋转的一种方法[4]。磨削纹理常出现在工具和工件均旋转的硅片、球面、非球面磨削加工中[5]，并具有不同的作用：合适的磨削纹理方向可以提高密封件的密封性能和摩擦副的润滑性能[6-7],而光学元件表面的磨削纹理会降低光学元件的反射、透射等光学性能，延长元件加工的抛光时间[8]。

文献[9-10]采用新型砂轮对硅片进行磨削加工，发现端面对磨的硅片表面出现了磨削纹理(呈现周期性，沿圆周方向高低起伏、自中心向外缘发散)，并指出磨削纹理是由材料去除不均匀引起的。磨削纹理会严重降低磨削后工件的表面质量及表面均匀程度[11]，大粒度磨盘加工后的工件表面磨削纹理更显著。文献[12-16]进行了细磨粒金刚石砂轮磨削硅片的大量研究，发现夹具形状和夹紧方式会导致硅片磨削纹理的产生。王玉珏等[17]采用杯形轮对球阀进行磨削加工，提出磨削纹路密度的概念并用于评价球面磨削纹路，认为磨削纹理的形状和分布取决于磨削工艺参数和系统结构参数。……