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日本为何弄丢了高端光刻机市场

2021-07-21俞天任

中国新闻周刊 2021年25期
关键词:光刻机系统结构集成化

俞天任

老电影《南征北战》里有句很有名的台词:“不是敌人太狡猾,而是我们太无能。”其实尼康等日本企业很可以用这句话来总结他们和总部设在荷兰的阿斯麦尔之间的竞争及其结果。

日本的尼康和佳能在本世纪初还占据了光刻機的大部分市场,而阿斯麦尔在1988年才正式独立。历史这么短的阿斯麦尔却在2010年占到了80%的市场份额,把日本公司退逼到了17%。当然,日本公司还没被完全赶出市场,还在制造中低端光刻机。但光刻机行业的利润主要集中在两种最先进的机种上。

之所以发生了这么大的逆转并不是因为阿斯麦尔掌握了什么黑科技,而是在顾客、企业体制和企业文化等技术外因素上。

2005~2010年,英特尔的进货量占尼康销售额的半数以上,东芝占了20%,阿斯麦尔的顾客则依次为三星、海力士和台积电。尼康客户主打复杂度高、需要在生产时进行微调的微处理器这样的专用产品,阿斯麦尔用户则主打闪存这样的更注重操作性和统一性的通用产品。

尼康和阿斯麦尔采用的系统结构也不同,尼康用集成化的,阿斯麦尔用模块化的。从两家公司的历史和文化看,选择不同是必然的。日本企业的零件自制率特别高,即便不是自己亲自动手也是配套企业专门为自己制造的。尼康的光刻机也是这样,光源之外的其余零部件都是自产的。这就形成了集成化的系统结构,造价最低廉、结构最紧凑、运行最经济、效率最高。但历史不长的阿斯麦尔做不到这一点。阿斯麦尔光刻机除了控制软件是自己的,其他所有零部件都来自外购,如镜头是蔡司的,控制器是飞利浦的。集成化系统效率高,但遇到设计概念出现革命性变化的时候,就会因为其牵一发而动全身的最优化特性而显得僵硬,修改非常困难。

本世纪初,光刻机出现了双扫描和湿法生产两个革命性变化。阿斯麦尔在2000年左右就已采用了双扫描,2004年又采用浸入式光刻技术。而尼康在2005年才开始采用这两种技术,落后于阿斯麦尔。这两项技术本身并没多了不起,尼康也只是未及时采用,原因除了集成性系统结构影响改变难,尼康顾客群的特性也钝化了其技术敏感度。其客户的产品都是专用品,竞争不很激烈,不像通用品厂家追求命之所系的差别化,这也使尼康产生了错觉。

另外,尼康的客户基本自己具有调整能力,这反而使尼康对各零部件间的相互关系了解不足,有时甚至还不如客户。反过来,阿斯麦尔因客户都是新参与进来的,厂家在交货时一定要调试到位,反而增加了厂家学习的机会。因其系统结构是模块化的,比较容易把握,结果是阿斯麦尔比尼康更了解自己装置的系统结构,阿斯麦尔和用户、供应商等的联系更密切。

光刻机的市场不大,易被个别企业垄断,一步跟不上则步步跟不上,这样阿斯麦尔就占领了高端光刻机的绝大部分市场份额,尼康等日本企业跌了下来。阿斯麦尔垄断高端光刻机市场并不是因为别人做不出来,而是因为资本和市场的特性在起作用。

现在,中国被人用强力隔离在了高端光刻机市场之外,而中国的产能自身就造就了一个不小的市场。虽然短时间内在市场上直接购得高端光刻机有一定困难,但光刻机本身的技术和零部件并不受《瓦森纳协定》的管辖,在这种前提下,阿斯麦尔的成功并非不可再现。

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