李锐锐，杨 帅，毛海央，陈大鹏，熊继军

(1.中北大学 a.电子测试技术国家重点实验室，b.仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原 030051；2.中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心，北京 100029)

表面增强拉曼散射(SERS)是一种非侵入式的无损检测技术，可以实现对分子组成与构象等的痕量检测[1-2]。由于其具有高灵敏度的优异性能，在分析化学、生物检测、环境监测、安全监控等领域有很大应用[3-4]。在过去的几十年里，研究者们致力于研究各种各样的SERS基底或器件。其中，人们采用“自上而下”或“自下而上”的方法制备了零维(0D)、一维(1D)、二维(2D)甚至三维(3D)的微纳结构，例如金属纳米粒子、金银纳米线、纳米领结、氧化锌纳米棒、硅纳米锥等[5-9]。其中，金属纳米粒子与金银纳米线在胶体悬浮液中制备得到，制备过程需要严格控制溶液温度及反应时间才能获得形貌一致的纳米粒子或纳米线。纳米领结的制备则需要经过光刻与金属剥离等复杂工艺。对于3D微纳结构，如硅纳米锥，则需要利用掩膜进行湿法或者干法刻蚀工艺才能完成制备[10]。因此，目前所制备的SERS基底，基本都需要经过严苛的反应条件、复杂的结构设计与制备工艺，存在成本高且不易批量生产的问题，大大限制了SERS基底的实际应用。

大部分聚合物材料在工业领域非常普遍且成本低廉，如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)等。如果可以用聚合物材料制备SERS基底，将会大大降低成本。PMMA是一种常见的聚合物材料，具有透光率高、成本低、生物亲和性好的优点，被广泛应用在航空、建筑、机械、医疗等领域。……