刘婷婷 赵新丽 李艳 张子辰

摘要：激光干涉比长仪是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪器，可将几何量值直接溯源到国际推荐的激光波长。为减小测量误差，满足测长精度，研究了新的激光干涉比长仪装置。该装置主体结构采用花岗岩石，利用空气静压导轨技术、高精度光电显微镜瞄准技术和空气折射率准实时修正技术等，有效提高了测量精度。

关键词：激光干涉比长仪;动态光电瞄准;折射率修正;软件控制

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随着科技的快速发展，精密测量、机械制造等各种产业不断壮大，人们也更加关注产品的生产质量与生产效率，在生产中长度测量是否准确至关重要[1]。而线纹尺作为长度计量量值传递系统中应用最为广泛的实物标准器之一，其重要作用不言而喻[2]。

激光干涉比长仪是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪器，主要用于检定长度至1 000 mm的一、二等标准金属线纹尺和一、二等标准玻璃线纹尺[3]，也可用于测微尺（100线/mm）、位移传感器、激光干涉仪、低等级线纹尺和光栅尺等计量器具的测量和校准，进而使得几何量值可以溯源到国际推荐的激光波长[4]。

为了减小测量误差，确保仪器的测长精度，该激光干涉比长仪在设计时遵循了阿贝原则。比长仪的床身、导轨以及工作台均采用花岗岩材料制造，利用空气静压导轨技术使其满足高精度的导轨运动以及工作台的运动特性。测量过程中利用动态光电显微镜瞄准技术，简化了显微镜结构且提高了测量效率;通过Edlen公式对空气折射率进行准实时修正，以满足高精度的测量要求。……