王丽丽，刘 奇，饶锦武，彭得林，艾圆华

（江西省铜及铜产品质量监督检验中心，江西 鹰潭 335000）

超细铜线广泛用于集成电路用封装导线、高速宽频传输用缆线、航天航空电机用精细线等，是电子电器、轨道交通、航天航空等领域中的关键耗材。近年来，设备轻量化、微型化的发展，促使超细铜线尺寸进一步减小（直径小于0.03mm），超细铜线的超细化已成为其主要的发展趋势之一。

超细铜线微观组织、结构、物相表征方面的困难，严重制约了高品质超细铜及铜合金线材的研制、发展。材料的性能质量很大程度上取决于其微观组织结构。超细铜线的组织结构分析是改善合金性能、优化加工制备工艺的重要依据，但超细铜线组织结构分析的关键问题在于，超细尺寸为微米尺度，难以通过传统手段分析其微观组织结构。基于此，本文通过集束手段制备检测样品，以分析超细线在加工制备过程中的微观组织结构等。

1 表面质量的检测

采用蔡司EVO18钨灯丝扫描电子显微镜对材料表面质量进行分析。分别截取直径0.02mm超细铜线和0.05mm的镀锡铜线，各集结成一束，用导电胶带固定在载物台上，电镜试验参数[1]设置为加速电压EHT：20KV，探针电流Iprobe：200pA，工作距离：14.5mm与15.5mm，物镜光阑：30um，灯丝电流I设在第二峰位.观测到0.02mm的超细铜线和0.05mm的镀锡铜线的表面质量分别如图1和图2。从图上可以看到，0.02mm的超细铜线圆整、表面无毛刺、飞边、裂纹、夹杂物及其他影响使用的缺陷，而0.05mm的镀锡铜线虽然形状圆整、表面无飞边、裂纹、夹杂物，但有明显的锡粒毛刺，说明铜线的镀锡工艺还有待改进。……