代 阳， 杨楠楠， 肖 渊

(1. 西安工程大学 机电工程学院， 陕西 西安 710048；2. 西安市现代智能纺织装备重点实验室， 陕西 西安 710048)

近年来，柔性可穿戴传感器广泛应用在医疗监护、疾病诊断、人机交互和运动健身等领域，极大地推动了柔性电子学的发展[1]。柔性电子产品具有便携性、体积小等特点，可通过佩戴电子监视设备来实现人体远程监测心率、血压、呼吸等健康指标。其中，湿度传感器在智能健康领域至关重要，人体湿度的监测以及环境湿度的检测和人们日常生活密切相关[2-4]。研究表明，当环境中的相对湿度在30%～70%范围内时，人体会有舒适感，且细菌的生存时间相对较短。当相对湿度不在这一范围内时就会出现不适症状，同时也会导致一些细菌和疾病的传播。因此，湿度传感器被广泛采用，以提高生活环境或工业过程的智能化监测水平[5-6]。湿度传感器有多种类型，如电阻式、电容式、光学式、压阻式、声表面波式等[7-8]。这些湿度传感器主要采用陶瓷、硅、半导体材料等制备，多数湿度传感器都是基于硬质基板，不能承受较大的形变和瞬时冲击，存在机械脆性、刚性、灵敏度不足等问题，限制了其在可穿戴设备中的应用[9]。

随着智能可穿戴设备的快速发展，柔性电子已经越来越多地应用到日常生活中，成为该领域的研究热点。Zhang等[10]基于层层自组装技术制备了还原型氧化石墨烯/聚二烯丙基二甲基氯化铵(rGO/PDDA)纳米复合薄膜传感器，并将该电阻型湿度传感器薄膜制备在柔性聚酰亚胺(PI)衬底的叉指电极上，其相对湿度测量范围为11%～97%，拥有良好的响应和恢复性能；……