崔继强，郭晟彬，张若曦，谢 静，杨水源*

1.中国地质大学（武汉）地质过程与矿产资源国家重点实验室，武汉 430074；2.中国科学院青藏高原研究所大陆碰撞与高原隆升重点实验室，北京 100101

电子探针是一种常用的分析仪器，具有原位、无损和空间分辨率高等优势，在材料学、地球科学等研究中具有广泛的应用。电子探针常用来对矿物的主量元素进行分析，对于微量元素的分析，如何提高测试的准确度和精确度一直是一个挑战，为此前人进行了大量的探索（Donovan et al., 2011;Fournelle, 2007; Kronz et al., 2012; Reed, 2000; 张迪等, 2019）。提高测试准确度的关键在于峰及背景的准确测试和二次荧光的处理。影响峰和背景准确测试的因素有干扰峰、背景弯曲等。当干扰峰接近待测元素的特征峰时，可采用叠加峰分离或校正的办法来解决（Jercinovic et al., 2005; Pyle et al.,2002）。当在背景位置上存在其他元素的峰、台阶等干扰因素时，在背景位置选择时与之保持一定距离即可避免（Cui et al., 2019）。对于背景弯曲，可采用曲线方程拟合背景的方法获得准确的背景值（Cui et al., 2019; Donovan et al., 2011; Jercinovic et al., 2005）。对于二次荧光，与含有荧光元素的邻近矿物保持足够的距离即可避免二次荧光的影响，或者通过软件进行二次荧光的模拟及校正（Borisova et al., 2018; Fournelle, 2007; Llovet et al., 2012）。

要提高测试的精确度，通常可采用改变加速电压、提高电流、增加计数时间和使用大晶体（L型的大尺寸分光晶体，具有更大的信号接收和分光面积）的方法。但是，这些方法并不总是有效的：（1）受吸收作用影响，不同元素具有不同的最佳电压（Batanova et al., 2018; Reed, 2000）。对于大部分重元素（Z>10），随着加速电压的升高，检测限降低，但是对于低激发能高吸收性元素（如Al、Na），过高的电压反而会造成检测限升高（Batanova et al., 2018）；（……