闫家启 申赛康 孙国祥 丁卫东

伪火花放电的物理机制与应用综述

闫家启 申赛康 孙国祥 丁卫东

（电力设备电气绝缘国家重点实验室（西安交通大学） 西安 710049）

伪火花放电是一种工作于巴申曲线左半支、引燃于空心阴极结构、具有弥散的主放电通道的特殊低气压放电，在脉冲功率和等离子体等领域得到广泛应用。该文综述了近年来有关伪火花放电物理机制和典型应用的研究。首先分析伪火花放电主要过程的典型特征、微观机制和影响因素，依次为预放电、空心阴极放电、超密集辉光放电和真空电弧放电四个阶段；其次讨论当前伪火花放电研究中仍存在的问题，如电流淬灭和阻抗波动等；然后介绍伪火花放电的典型应用，包括伪火花开关、电子束源、极紫外光源等，并着重介绍相关装置的参数水平和技术特点；最后探讨伪火花放电研究今后的发展趋势。

伪火花放电 物理机制 伪火花开关 电子束源 极紫外光源

0 引言

伪火花放电是一种特殊的低气压放电，既具有辉光放电的弥散特征，又具备火花放电大电流、短时延和低抖动的特点，同时能够运行于高重复频率下。伪火花放电现象自20世纪70年代末被发现以来[1]，受到了国内外众多学者的广泛关注，在脉冲放电开关、电子束源等方面获得了广泛应用[2-3]。

伪火花放电装置具有如下特征：阴极为中空带孔结构，孔直径、孔深度、主间隙距离均在2～10mm之间；孔的个数可以是一个或多个，形状可以是圆形，也可以是环形槽或其他类型；……