吴彦国 张明亮 令狐铁兵

（麦斯克电子材料股份有限公司）

随着硅半导体材料器件向着高度集成、智能化方向发展，对硅单晶衬底材料质量控制提出了更为严苛的要求。目前，80%以上的硅单晶由直拉法制备，而直拉法制备单晶硅是在动态变化的高温环境进行的，生产过程会产生大量数据，单晶硅的质量直接受拉晶过程数据的影响。为了进一步提高产品质量，单晶拉制过程数据的采集与网络化管控成为研究热点［1，2］。单晶炉台的数据采集与监控管理对单晶拉制，乃至整个企业的智能制造和现代化管理，具有重要意义。然而，由于单晶拉制车间的单晶炉为离散分布，实际运行数据难以集中管理和有效运用，信息流转和标准化实施程度较差［3］。传统的单晶拉制过程数据记录采用纸质媒介，存在效率低、受人为因素干扰、数据精度和实用性很低、难以保证单晶硅生产质量等问题。设计适用于单晶拉制车间的单晶炉数据采集系统，实现对生产数据的集中监控和实时采集，合理利用过程数据，为单晶拉制提供决策依据，是目前单晶拉制生产过程面临的重要难题［4］。

笔者通过对单晶拉制车间的调研，提出采用Datawin数据采集组态软件，设计CG6000型直拉硅单晶炉数据采集系统，旨在实现对设备运行的集中监控，采集和分析生产过程数据，提高企业对单晶拉制数据的运用与管理，进一步提高生产效率与管理水平。

1 数据采集系统的总体架构

对现场设备的布局进行分析，单晶车间共设有CG6000型直拉硅单晶炉台24台。……