张耀元，王 锐，姜瑞韬，杜坤阳，李远洋

（1.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 激光与物质相互作用重点实验室，吉林 长春 130033；2.中国科学院大学，北京 100049）

引言

随着激光雷达在诸多领域的成功应用，对激光雷达各方面的要求越来越高。激光雷达的核心是激光扫描技术，近年来激光扫描技术快速发展，传统的激光扫描技术，例如，机械式[1]、声光式、电光式等一系列激光扫描技术均有其各自的局限性，因此光学相控阵就在微波相控阵的基础上应运而生。基于光学相控阵的扫描技术具有光波束扫描分辨率高、抗电磁干扰能力强、可集成小型化等优势[2]，目前对光学相控阵的具体研究分为若干类，包括光纤干涉型[3]、集成波导型[4]、微机电型[5]、液晶光学相控阵[6]等。绝缘体上硅（SOI）平台与互补金属氧化物半导体（COMS）工艺的高效兼容使得硅光子技术有利于实现大规模集成，因此基于硅光子平台的硅基光学相控阵[7-10]迅速成为研究热点。目前来看，针对光学相控阵特性参数包括扫描角度、速度和精度等能否达到预期目标还缺乏系统性的测试和分析，难以为相控阵优化设计提供有效的数据支撑，一定程度上阻碍了光学相控阵的大规模市场化。本文主要针对典型光学相控阵，深入分析硅基光学相控阵性能评估理论，并开展评估系统设计及评估方法研究工作。

1 性能评估理论研究

对光学相控阵的性能评估，需要对其各项特性参数进行细致的分析。……