武汉京东方光电科技有限公司 熊嘉琪 乔亚峥 刘子源 张 杰 魏 炎 董春垒

郭会斌 向红伟 林 敏 邱 航 郑 帅

随着GOA（Gate On Array）技术的不断发展，GOA技术在TFT-LCD行业，尤其在窄边框TV显示屏上的应用也愈来愈频繁，但是由于GOA驱动电路工艺的不稳定性和复杂性，可能会导致显示不稳定的问题，同时随着TV市场需求的日益增长，GOA产品的工艺稳定性对于客户端的品质表现显得十分重要。本文主要研究了大尺寸TFT-LCD GOA产品GOA区与AA区关键参数Channel CD（Critical Dimension）的均一性问题，并针对GOA区Channel CD管控的不足，提出一系列管控优化方案，包括Mask设计补正，CD测量过程控制和SPC管控优化措施等，并在武汉京东方光电科技有限公司（以下简称B17）率先应用，提高了产品GOA工艺的稳定性和系统预防监控能力。

近年来，随着TFT-LCD显示技术的高速发展，液晶产品的竞争日益激烈，各厂家为抢占市场开始开发新技术。GOA（Gate On Array）技术是将栅极驱动器集成在玻璃基板上，形成对面板的扫描。因其窄边框，简洁美观和低成本低能耗的优势，已慢慢成为各个面板厂家的主要研究方向，其产品也逐步走向TV市场，更加符合面板未来的发展趋势。

然而，GOA驱动电路结构复杂，由多个器件组合设计，且与阵列基板工艺一起制作完成，易受工艺均一性等因素的影响，与AA（Active Area）区相比，存在关键参数Channel CD的差别，引起特性差异，造成显示不良缺陷，如错充、黑斑不良、RGB水平Mura等。因此，研究GOA产品工艺均一性、GOA Channel CD补正方案和量产管控方法至关重要。

1 产品研发阶段的管控

1.1 GOA产品工艺均一……

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