福州京东方光电科技有限公司 王新伟 王 宁 陈伟涛 李云娜 汪宗源 周 贺

通过对TFT-LCD制造中PHOTO工艺PVX OPEN不良产生机理的研究，提出改善PVX OPEN不良的方法。分析表明PVX OPEN不良主要成因为PR胶涂布前细菌粘附在玻璃基板上，曝光显影后造成PR胶破洞，PVX刻蚀工序完成后形成对应位置PVX OPEN；通过改善生产气流及定期清理细菌等措施，PVX OPEN发生率由最初的6%以上降低到0.5%以下，且改善周期可持续2个月以上。

随着薄膜晶体管-液晶显示器（TFT-LCD）发展，液晶市场竞争越来越激烈，TFT-LCD产品以其轻薄、环保、高性能等优点，尺寸越做越大，应用越来越广。一方面面板企业在向大世代线方向发展，另一方面，顺应市场需求，传统8.5代线开始生产大尺寸产品。因受到基板尺寸限制影响，不良对较大尺寸产品良率的影响将成倍增加（不良PANEL数/单张TFT基板总PANEL数）。

TFT生产技术最核心的部分是光刻工艺，它既是决定产品品质的重要环节，也是影响产品成本的关键部分。光刻工艺常规的OPEN&REMAIN（膜层破洞/残留）类不良，通过设备维护、清洁等均可以得到改善，而PVX OPEN类不良的产生机理为细菌导致，细菌繁殖速度快，一般约20～30min便分裂一次，即为一代，仅靠设备PM（设备维保）等常规设备维护方式，无法进行抑制和改善，严重影响着产品良率。同时，也因频繁停机维护而降低产能，增加能耗与人力成本等。一般而言，降低成本已成为企业赖以生存的重要法则。因此，找出有效药液或其他措施对细菌进行抑制和改善，对于提升企业的市场竞争力尤为重要。……